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  • 脉冲碳等离子源发射特性研究

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    一、脉冲碳等离子体源发射特性研究(论文文献综述)杨梦熊[1](2021)在《碳化硅元件自由基等离子体加工关键工艺研究》文中研究说明碳化硅(SiC)因众多优异的性能,成为一种常用...
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