超声波电机论文

超声波马达振动模态分析方法

一、超声马达振动模态分析方法（论文文献综述）石超[1]（2021）在《基于柔性放大机构的谐振式压电惯性驱动直线马达研究》文中研究指明谐振冲击式压电马达利用自身固有振动模态合成非...